Voegtlin質量流量控制器流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。

　　Voegtlin質量流量控制器使用時需注意：當質量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時，可以當質量流量計使用。在做流量計使用時，流量檢測電壓的輸出值zui大可能達+10V以上，不過要注意，當流量超滿量程值+5V后，流量檢測電壓與通過的實際流量不成線性對應關系。清洗時，流量顯示不準，還可能出現流量增大顯示反而減小的異常現象，但并不會對流量計本身造成損傷。